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中国化工仪器网>产品展厅>光学仪器及设备>光学显微镜>激光共聚焦显微镜> 奥林巴斯 3D测量激光显微镜 OLS5000

奥林巴斯 3D测量激光显微镜 OLS5000

奥林巴斯(中国)有限公司

价格:¥1元

所在地:日本厂商性质:生产商

品牌:奥林巴斯型号:

公司电话:400-969-0456

公司传真:021-51706236

市场部(联系我时,请说明是在中国化工仪器网上看到的,谢谢)

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上市时间:2018-11-15

创新点:1、可以捕捉任意表面形状
OLS5000显微镜的先进技术使其能够进行高分辨率的3D样品测量。
2、快速获得可靠数据
该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,Z终实现生产力的提升。
3、使用简单,只需放置样品并按一下按钮即可
LEXT® OLS5000显微镜具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。 甚至生疏的用户也可以获得准确的检测结果。
4、可测量具有挑战性的样品
低输出、非接触式无损激光测量意味着不需要样品制备。可以在不损坏易损性材料的情况下对其进行测量。扩展架可容纳高达210毫米的样品,而超长工作距离物镜能够测量深度可达25毫米的凹坑。在测量这两类样品时,您只需将样品放在载物台上即可。


激光显微镜特点:1、使用方便,与一般光学显微镜相似,且全部采用计算机直观控制。2、基本无须制样,不损伤样品,不需要做导电处理,也容许大尺寸样品直接观察,完全不破坏样品。3、几十秒到一两分钟即完成全部的扫描,成像,测量采样工作。因此,作为一种新的检测仪器,也是SEM的一种补充,CF-LSM越来越受到重视。4、具有实时预览功能,可以搭载高温台配合使用。

 

OLS5000激光共聚焦显微镜可以精确地测量亚微米级的表面形状和粗糙度。图像采集速度比我们之前的型号OLS4100快四倍,大大提高了效率。

4 Key values of the OLS5000

 

1. 捕捉任意表面形状。

Precise Imaging

 

2. 快速获得可靠数据。

 

Fast

 

3. 操作简单—

只需放置样
品并按一下按钮即可。

 

Easy to Operate

 

4.测量具有挑战性的样品

Longer Working Distance for Larger Samples

 

优异的平面分辨率

LEXT OLS5000 3D测量激光显微镜配备的两套光学系统(彩色成像光学系统和激光共焦光学系统)让其能够获取彩色信息、高度信息和高分辨率图像。405nm紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜无法发现的精细纹理和缺陷。

 

专用LEXT物镜

我们的专用LEXT物镜系列近期新增了提升测量性能的长工作距离物镜和普通工作距离的10倍物镜。所有专用LEXT物镜的测量性能均可获得保证。

 

4K扫描技术—检测陡峭斜面和近纳米级台阶的形貌

4K 扫描技术可在X轴方向扫描4096像素,是传统机型的四倍。由此提高了高度测量的可靠性,改善了分辨率,信噪比提升了两倍。OLS5000显微镜无需图像处理就能检测几乎垂直的陡峭斜面和极低的台阶。

可准确测量高达87.5° 的大角度斜面。

 

快速、精确的测量——PEAK算法

OLS5000 显微镜采用了用于 3D 数据构建的 PEAK 算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据,并可缩短数据采集时间。

VLSI 标准样品/ 80nm台阶 (MPLFLN10XLEXT) 

 

简单分析

简单分析功能可仅在指定测量范围内测量台阶、线宽、表面粗糙度和体积。自动检测测量结果变动的原因(如体积分析中参考平面的边缘位置和阈值)让测量结果保持稳定,不受操作员技能水平的影响。

 

扩展架——可检测最大210毫米高度的样品

载物台上可放置最大高度210毫米的样品。重复性和准确性等测量性能均确保与标准机台相同。

 

 

 

-END-

 


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